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12月13日，芯源微(688037.SH)在2022年第三季度業績說明會上表示，公司前道涂膠顯影設備在28nm及以上工藝節點的多項關鍵技術方面取得突破；光刻膠涂覆缺陷及成本控制技術、在線式工藝缺陷檢測技術均達到國際先進水平。前道物理清洗機在自動刷壓控制技術上已達到國際先進水平。公司前道offline、I-line、KrF機臺均實現了批量銷售，下游客戶覆蓋國內頭部邏輯、存儲、功率器件等客戶，前道Track簽單實現了快速放量；前道物理清洗機繼續鞏固國內市場龍頭地位；后道及小尺寸銷售也符合公司簽單預期。

三季報數據顯示，芯源微2022年前三季度公司營業總收入8.97億元，同比上升63.87%，歸母凈利潤1.43億元，同比上升169.42%。第三季度營業總收入3.92億元，同比上升99.93%，歸母凈利潤7362.0萬元，同比上升308.63%。前三季度綜合毛利率達到40.1%，同比增長0.6個百分點，整體毛利率水平有所提升。研發費用率達到10.57%，芯源微表示，未來公司將繼續保持高強度研發。

此外，針對該公司三季報，市場專業人士分析認為，芯源微作為前道涂膠顯影設備國產領軍者，公司積極豐富前道涂膠顯影&清洗設備產品線，成長空間持續打開。1.涂膠顯影設備Off-line、I-line、KrF機臺均實現批量銷售，前道涂膠顯影機新簽訂單規模同比大幅增長，其中I-line、KrF涂膠顯影機獲得了多家頭部晶圓廠的小批量重復訂單，向先進制程產品延伸，將徹底打開公司在涂膠顯影領域的成長空間。2.清洗設備前道SpinScrubber單片式物理清洗機已較為成熟，成功實現進口替代。2021年募投項目加碼市場空間更大的單片式化學清洗機，有望成為第二成長曲線。

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